HOME 제품소개 DC Arc Plasma Wet Scrubber

DC Arc Plasma Wet Scrubber

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Product Overview

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  • 1플라즈마 생성 및 반응 모듈

    • N2로 DC 열 플라즈마 생성
    • 열분해 공정에 의한 폐가스 분해
    • 폐가스의 재결합을 방지위한 물 분사
    • 내부식성이 뛰어난 세라믹 튜브

  • 2소각 구간

    • NOx발생을 피하기 위한 신속한 냉각
    • 가루 및 수용성 가스와 같은 부산물을 제거를 위한 물 분사
    • 부식에 대한 고항산 코팅

  • 3저장소

    • 고용량 폐수 보관

  • 4Wet Jacket

    • 분말, 수용성 가스 등 부산물 제거를 위한 포장재를 사용한 물 분사

  • Option : 전기 냉각 장치

    • 먼지제거 효과
    • 개선된 수분제거 효과
    • 높은 HF 제거율
    • 하드웨어 안정성 및 안전성 향상

Advantage

  • 1열 플라즈마 기술 시스템

  • 2자동 안전 및 에너지 절약 모드

  • 3온도 2,000℃ 이상 : 고성능

  • 4Semi, LCD, LED, Solar : 모든 프로세스 최적화

  • 5부식 및 분체관리 기술

Application

과정 기체
CVD SiH4, NF3, WF6, B2H6, TEOS, TDMAT, N2O, C3H6, Etc.
Diffusion SiH4, TEOS, DCS, NH3, ClF3, B2H6, Etc.
Etch CF4, SF6, BCl3, Cl2, HBr, Etc.
Solar-cell SiH4, NH3,TMA, Etc.

Specification

항목 상세
Model A209-H / TCKDW-S6
Treatment type Plasma + Wet
Application Etch, Diffusion, CVD Process
Capacity 600 LPM(Max)
(Including CF4 max capacity 250LPM)
Operation Type Automatic (PLC base TOUCH screen)
Dimension (W×D×H, ㎜) Scrubber 800×800×1,750
Weight (kg) 600 kg
Power 3-Phase, 208Vac., 50/60㎐
Main Circuit Breaker / 100A
Power Consumption / 18 kW
Normal operating(Avg.) / 8 kW (Plasma power)

Utility

항목 상세설명
특징 연결
Inlet 2~6 Port NW40 KF FLANGE
N2 4~5 kg/cm2 3/8", Swagelok
CDA 4~5 kg/cm2 3/8", Swagelok
PCW 4~5 kg/cm2 3/8", Swagelok or NPT
City Water 1~3 kg/cm2 3/8", Swagelok or NPT
Drain Pumping Drain 3/4” PT Female PVC
Exhaust Gas Exhaust -40 ~ -80mmH2O ISO 100 MF Flange
Thermal Exhaust -40 ~ -80mmH2O ISO 100 MF Flange
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