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等离子水洗尾气处理器
等离子水洗尾气处理器
产品一览
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1等离子产生 & 反应模块
- 使用N2产生热等离子
- 通过热分解过程分解废气
- 喷洒水以避免废气再结合
- 陶瓷管具有高耐腐蚀性
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2冷却段
- 快速冷却以避免NOx
- 喷水以去除副产物, 粉末和水溶性气体
- 特氟龙涂层, 具有高耐腐蚀性
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3水箱
- 高容量储存废水(27升)
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4水淋塔
- 喷水以去除副产物，粉末和水溶性气体
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选配 : 电动冷凝机
- 除尘效果优
- 显著提高除湿效果
- 高HF去除率
- 提高硬件稳定性和安全性
优势
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1热等离子技术系统
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2自动安全&节约能源模式
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32,000℃以上：高性能 ; 自动安全节能模式
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44半导体, LCD, LED, 太阳能：优化所有流程
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5腐蚀和粉末处理技术
应用
| 制程 | 气体 |
|---|---|
| 化学增殖 | SiH4, NF3, WF6, B2H6, TEOS, TDMAT, N2O, C3H6, Etc. |
| 扩散 | SiH4, TEOS, DCS, NH3, ClF3, B2H6, Etc. |
| Etch | CF4, SF6, BCl3, Cl2, HBr, Etc. |
| Solar-cell | SiH4, NH3,TMA, Etc. |
规格
| 内容 | 描述 |
|---|---|
| 型号 | A209-H / TCKDW-S6 |
| 处理类型 | 等离子+水洗 |
| 应用 | Etch, Diffusion, CVD Process |
| 容量 | 600 LPM(Max) (Including CF4 max capacity 250LPM) |
| 操作类型 | 自动 (基于PLC的触摸屏) |
| 尺寸 (W×D×H, ㎜) | Scrubber 800×800×1,750 |
| 重量 (kg) | 600 kg |
| 功率 | 3-Phase, 208Vac., 50/60㎐ Main Circuit Breaker / 100A Power Consumption / 18 kW Normal operating(Avg.) / 8 kW (Plasma power) |
物业规格
| 内容 | 描述 | ||
|---|---|---|---|
| 规格 | 连接器 | ||
| 进口 | 2~6 Port | NW40 KF FLANGE | |
| 氮气 | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok | |
| CDA | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok | |
| PCW | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok or NPT | |
| City Water | 1~3 kg/cm2 | 3/8", Swagelok or NPT | |
| 排水 | Pumping Drain | 3/4” PT Female PVC | |
| 排气管 | 酸排 | -40 ~ -80mmH2O | ISO 100 MF Flange |
| 一般排气 | -40 ~ -80mmH2O | ISO 100 MF Flange | |