2023
等离子清洗器已安装 - VISHAY TAIPEI
大容量等离子清洗器大量订单 - HONGJUN Solar Fabs
等离子清洗器已安装 - Global Foundries Singapore
2022
大容量等离子清洗器的大量订单 - 欧豪/华盛 Solar Fabs
等离子清洗器已安装 - SSMC Singapore
2020
成套订单量 - Silan 12” Fabs
-大量订单 - SMIC 12”/8” Fabs
2018
中国本地化计划获得成功 开创新的中国创业投资基金
与中国大型基金开展新的合资企业
2017
中芯国际脱氮氧化物设备装机
2016
等离子尾气处理器及电加热尾气处理器规模装机
2015
中芯国际12寸、8寸厂等离子尾气处理器规模装机
2014
中芯国际等离子尾气处理器装机/p>
2013
在三星有微波等离子体技术的装机
（中国、韩国）SK海力士（中国、韩国）
2009
在中国成立分公司（生产设施）
2006
在韩国成立母公司（以及等离子应用研发）